半導體

在半導體製程與封裝領域,志隆國際科技提供從材料研發到晶圓量測的全方位高精度解決方案。我們針對先進封裝(CoWoS)、矽光子(CPO)及化合物半導體的需求,提供具備高重複性與非破壞性的檢測設備。

半導體應用範疇

  • 材料測試:提供熱固化性與 UV 固化性材料測試儀器,精準量測樹脂完全固化時間、固化收縮率與收縮應力,並評估 TIM 材料之熱擴散率。
  • 晶圓表面量測:針對晶圓提供平面度、粗糙度等微觀分析。
  • 晶片表面量測:量測膜厚、階差(Step Height)、線寬、線距、圓徑及粗糙度。
  • 半導體AI與先進封裝:針對 CoWoS 封裝之矽基板 TSV 孔型量測與封裝穩定性監測。
  • 矽光子:光波導輪廓/粗糙度、Micro Lens Array R 輪廓。
  • 光通訊量測:量測光纖陣列 FAU Core pitch、玻璃基板 V-groove輪廓粗糙度 、端面全周輪廓及平面度。
  • 影像缺陷分析:針對 Bare Wafer 與 Pattern Wafer 進行缺陷量測、分類與統計計算。

熱固化性材料測試方面

  • 自動凝膠化時間測試儀(Auto Gel Time Tester)

    測試材料凝膠時間點,具備高數據重現性,廣泛應用於封裝材料開發、銅箔基板廠(CCL)及 PCB 廠之生產線品質監測。已有銷售實績。

    適配機型:MADOKA

  • 介電固化測試儀(Dielectronic Cured Monitor)

    記錄材料從開始流動、最低粘度、玻璃轉化到完全固化之時間點。

    適配機型:LT-451


    樹脂固化收縮率測試儀(Resin Shrinkage and Shrinkage Stress Measurement System)

    全程記錄樹脂從加熱溶融流動、玻璃態固化至降溫過程中的收縮率或收縮應力。

    適配機型:Custron

材料熱擴散率與材料熱傳導率

  • 材料熱擴散率與材料熱傳導率參數是可以轉換計算的,典型計算公式如α=λ/(ρ∁), α材料熱擴散率,ρ材料密度,С材料比熱容,λ材料熱傳導率。採用點雷射方式對樣品實施週期性加熱進而量測出材料熱擴散率,量測材料應用範圍從熱括散率極低PI材料到熱擴散極高之單晶鑽石材料,樣品製備不受測試夾具限制,可測試材料垂直方向熱擴散率與水平方向熱擴散率。


    適配機型 :TA-35 (應用於 SiC 等高熱導材料,可量測水平與垂直方向)

表面形貌量測方面

  • 平面度量測

    針對封裝晶片 (Die)、模仁或晶圓上的陣列微結構(如:柱狀、半球體、錐形、凹形),三鷹光器 NH-3Ns 提供特定區域(如頂點高度)快速量測方案。系統不僅可快速量測微細頂點高度XYZ 三軸座標,可透過軟體轉乘 3D 彩虹形貌圖與量化數據導出,為高精密製程提供卓越的品質管控效率。

    當樣品被設計成陣列形狀,或具備柱狀、半球體、錐形、針形等微結構形貌時,三鷹光器量測儀器可針對特定區域(如頂點高度)提供快速量測方案。系統記錄 XYZ 三軸座標後,可透過軟體轉成 3D 彩虹圖或導出數據檔。


    應用實績:BGA 錫球高度、鑽石碟鑽石高度、探針卡頂針高度、真空吸盤吸嘴高度等表面微結構量測。

    適配機型 :NH-3Ns

  • 表面輪廓量測儀

    採用非接觸式點雷射自動聚焦掃描,量測幾何輪廓、膜厚斷差、表面粗度、平面度、翹曲、真圓度及肉厚。樣品材質適應性廣,包含錫膏、矽膠等軟性材料,或光阻 (Photo Resist)、微透鏡 (Micro Lens) 等透明材料,以及高反射率金屬或低反射率消光陶瓷。


    應用實績:NH-3N 應用於 6” 晶圓 Step Height 自動量測(具 Alignment Mark 辨識);NH-3MA 應用於 Micro Lens Array 評價。

    適配機型 :PF-60 (2 吋晶圓輪廓量測)、NH-3SP (6 吋晶圓)、NH-4N (8 吋晶圓)、NH-5N (12 吋晶圓)

  • 影像自動量測

    三鷹光器光學系統提供穩定光源輸出,銳利的光學成像系統設計與專用軟體,可量測影像中的平面幾何尺寸。XY 軸電控光學尺精度 0.1um 保證,執行尺寸自動化量測。NH 系列量測儀器具備輪廓量測與影像量測功能,能更精準量測出影像尺寸與表面輪廓,例如斜邊與平面交接的線寬或槽寬、溝槽深、樣品兩端面的長度。


    適配機型 :選配型控制量測軟體應用於 NH 系列量測儀器

粒子缺陷分析

提供影像尺寸量測軟體,可搭配到各種光學顯微鏡做影像量測應用,或是客製化設計自動影像分析儀器。軟體擴充功能性強,如 20 種以上尺寸量測功能,軟體影像處理、疊圖、拼貼、粒子分析、缺陷統計計算。提供客製化硬體升級及軟體改造。

適配產品:Contami Analyzer 晶圓缺陷檢查、Wafer 表面瑕疵檢查、圖案化晶圓瑕疵檢查(可選購 AI 深層學習軟體)

適配機型/軟體:Winroof 粒子計算分析軟體、Captomator 缺陷統計分析