材料測試:熱固化性材料與UV固化性材料固化測試儀器,測試樹脂的完全固化時間。材料熱擴散率測試儀器為評估TIM材料的熱擴散率。
晶圓表面量測:平面度、粗糙度、
晶片表面量測:膜厚、階差、線寬、線距,圓徑、粗糙度。
半導體AI: COWAS封裝矽基板TSV孔型量測
矽光子:R輪廓,光波導輪廓/粗糙度、Micro Lens Array、
光通訊:光纖陣列 FAU Core pitch,玻璃基板 V groove、端面平面度量測。
影像缺陷:Bear Wafer、Pattern Wafer缺陷量測、分類、計算。



