Contami Analyzer 異物篩檢系統
廠牌 : Mitani
Contami Analyzer 是日本Mitani公司開發的整合性粒子缺陷量測分析系統，目的是計算統計缺陷粒子顆粒。例如晶圓清洗後表面粒子殘留數量，清洗液經過膜濾器過濾後表面殘留顆粒數量。
產品說明
Contami Analyzer異物篩檢系統是利用圖像處理方法，構建外觀檢查系統。例如構建能夠通過目視和自動檢查，分析圓晶上的蝕刻圖形的寬度和高度，識別異物等，進行合格與否判定的系統。可在廣泛的行業中應用，例如半導體晶圓、玻璃基板異物檢查、化學品過濾器的殘渣檢查、汽車零部件清洗時的膜過濾器檢查（ISO16232標準規範）等。
支援光學顯微鏡、數位顯微鏡、實體顯微鏡、微距鏡頭等，可選擇適合觀察處理顆粒的攝影方法。
在圓晶以(或)過濾器表面的圖形、缺陷、異物的檢查中重視檢查精度
正在探討減少作業人員的誤差、自動化檢查系統
被迫以觀察顯微鏡的固定姿勢長時間作業
進行目視檢查時，不知道檢查過哪些地方
希望利用原有設備來擴充，降低建置成本
特色
- 快速檢查：僅用約1分鐘即可對直徑47mm的圓形過濾器進行掃描處理。
- 自動修補照明不均：根據攝影環境，消除因照明或鏡頭像差等導致的亮度不均現象，確保檢查之正確。
- 複查功能：單擊影像即可顯示檢查圖像，亦可將載物台移動到檢查位置。
- 通過目視檢查更放心：在複查中發現到錯誤檢查判定的圖像及顆粒等，可以用目視來確認。
- Excel®報表輸出：檢查結果可以輸出到微軟公司Excel®中。
- 統計計算：抽取的顆粒，可以根據顆粒尺寸等自動創建、顯示統計數據
規格
| 數位顯微鏡 | ||||
|---|---|---|---|---|
| CCD | 1/1.8型CCD | |||
| 有效像素 | 1628×1236 | |||
| 光源 | LED燈 | |||
| 照明 | 同軸反射方式/環形方式（透射方式為選購件） | |||
| 調節功能 | 快門、白平衡、增益 | |||
| 電動XY載物台 | ||||
| 移動量 | X・Y軸: ±50 mm | |||
| 移動解析度 | X･Y軸：±2 μm | |||
| 重複定位精度 | X･Y軸：±1 μm | |||
| 專用PC | 作業系統: Windows10；內建：4GB；HDD：1TB以上； 21英寸LCD Monitor 本規格會依客戶實際需求變更 |
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產品說明
Contami Analyzer異物篩檢系統是利用圖像處理方法，構建外觀檢查系統。例如構建能夠通過目視和自動檢查，分析圓晶上的蝕刻圖形的寬度和高度，識別異物等，進行合格與否判定的系統。可在廣泛的行業中應用，例如半導體晶圓、玻璃基板異物檢查、化學品過濾器的殘渣檢查、汽車零部件清洗時的膜過濾器檢查（ISO16232標準規範）等。
支援光學顯微鏡、數位顯微鏡、實體顯微鏡、微距鏡頭等，可選擇適合觀察處理顆粒的攝影方法。
在圓晶以(或)過濾器表面的圖形、缺陷、異物的檢查中重視檢查精度
正在探討減少作業人員的誤差、自動化檢查系統
被迫以觀察顯微鏡的固定姿勢長時間作業
進行目視檢查時，不知道檢查過哪些地方
希望利用原有設備來擴充，降低建置成本
特色
- 快速檢查：僅用約1分鐘即可對直徑47mm的圓形過濾器進行掃描處理。
- 自動修補照明不均：根據攝影環境，消除因照明或鏡頭像差等導致的亮度不均現象，確保檢查之正確。
- 複查功能：單擊影像即可顯示檢查圖像，亦可將載物台移動到檢查位置。
- 通過目視檢查更放心：在複查中發現到錯誤檢查判定的圖像及顆粒等，可以用目視來確認。
- Excel®報表輸出：檢查結果可以輸出到微軟公司Excel®中。
- 統計計算：抽取的顆粒，可以根據顆粒尺寸等自動創建、顯示統計數據
規格
| 數位顯微鏡 | ||||
|---|---|---|---|---|
| CCD | 1/1.8型CCD | |||
| 有效像素 | 1628×1236 | |||
| 光源 | LED燈 | |||
| 照明 | 同軸反射方式/環形方式（透射方式為選購件） | |||
| 調節功能 | 快門、白平衡、增益 | |||
| 電動XY載物台 | ||||
| 移動量 | X・Y軸: ±50 mm | |||
| 移動解析度 | X･Y軸：±2 μm | |||
| 重複定位精度 | X･Y軸：±1 μm | |||
| 專用PC | 作業系統: Windows10；內建：4GB；HDD：1TB以上； 21英寸LCD Monitor 本規格會依客戶實際需求變更 |
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