表面輪廓量測儀

表面輪廓量測儀器與 3D 形貌分析系統

志隆國際提供全系列的 表面輪廓量測儀器 與 粗糙度分析設備，滿足半導體晶圓、光學鏡片、超精密模具、機件全周與產線線上檢測需求。

我們代理之非接觸式點雷射與光學量測系統，具備奈米級高解析度與高重現性，能精準進行 2D/3D 表面輪廓、粗糙度 (Ra/Sa)、平面度 (Flatness/Warpage)、三次元幾何尺寸及微結構幾何形貌量測。無論是軟質膠材、高起伏工件或鏡面材料，皆能提供最佳檢測方案。

總共 8

表面輪廓量測儀器：常見應用與選型指南

不同的工件型態與檢測條件，需搭配相對應的量測模組與設備：

量測需求 / 工件類型	適用設備類型	關鍵檢測項目與特色
半導體晶圓、PCB、微結構、光學鏡片	表面輪廓與粗糙度量測儀	非接觸式點雷射 Autofocus 技術，適用於晶圓翹曲 (Warpage)、面粗糙度與薄膜形貌。
自動化外觀尺寸、複合幾何特徵	輪廓及影像量測儀	結合光學影像與輪廓掃描，快速進行 2D 尺寸與幾何公差檢測。
立體結構、精密機件 3D 空間公差	三次元量測儀	高精度三維座標量測，適用於複雜幾何尺寸與形位公差比對。
汽車抬頭顯示器 (HUD) 模仁、大型重型模具	模具及大型工件	高承重載台與大行程設計，專為大型金屬模具及重型工件輪廓量測打造。
超精密單晶鑽石刀具、鏡筒內外徑	全周輪廓量測儀	5 軸電控全周量測，一次完成真圓度、刀具 R 角磨耗與幾何輪廓分析。
自動化產線、即時品質監控	線上量測	模組化極小化頭部設計，方便整合至自動化設備進行實時輪廓監測。

表面輪廓量測儀 – 常見問題 (FAQ)

Q1：點雷射（Autofocus）非接觸式輪廓儀與傳統接觸式探針有何不同？

接觸式輪廓儀使用鑽石針尖劃過樣品，適用於一般硬質金屬；但對於軟質樹脂、膠材、透明光阻或超精密鏡面，探針容易造成表面刮傷或彈性變形。點雷射（Autofocus）非接觸式技術則透過光學自動對焦追蹤表面，能在「零接觸、不破壞樣品」的前提下，達到奈米級高精度的 3D 輪廓與粗糙度量測。

Q2：志隆代理的表面輪廓量測儀，可以同時測量平面度（Flatness/Warpage）與粗糙度（Ra/Sa）嗎？

可以。以 Auto Focus 點雷射系列（如 NH-3SPs / NH-5Ns）為例，透過大範圍載台位移與高精度感測器，不僅能繪製全頁面的翹曲與平面度（Warpage）三維形貌，亦能在微觀區域內分析 ISO 規範之粗糙度與波紋度參數。

Q3：如果工件尺寸較大或重量較重（例如 HUD 模仁或大型模具），有合適的設備嗎？

有的。針對重型工件或大尺寸模具，我們提供大行程且高承載（可承載 100kgw 以上）的專用輪廓量測平台（如 NH-5Ns 大型載台版），確保在大範圍掃描時依然保持極高的幾何真直度與量測精度。

Q4：不確定樣品適合哪種量測原理，志隆有提供現場測試或打樣服務嗎？

志隆國際提供預約現場測試與免費樣品打樣評估服務。您可以聯繫我們的技術團隊，攜帶或寄送樣品至志隆實驗室，由專業工程師進行實測並提供測試報告與設備選型建議。