重型模具輪廓量測 NH-5Ns
廠牌 : 三鷹光器
日本三鷹光器公司生產非接觸式點雷射自動聚焦表面輪廓量測儀NH-5Ns，應用於重型且大行程樣品表面輪廓量測，樣品工件可承重100kgw，Z軸空間可以改造，屬於高功能客製化量測儀器， HUD / FREE FORM 鏡片與模具之最佳量測儀器。
量測表面幾何輪廓，平面度、粗糙度、非球面，CAD擬合，可應用於12吋以下樣品之全域面積掃描，及擴充自動化量測。
產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
NH-5Ns 適合量測模具等重型工件掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。
選購影像電控軟體與 x10，x20，x50，x100 四顆物鏡使用電控鼻輪切換，可執行工具顯微鏡尺寸自動量測圓徑，線寬，溝寬。AF軸光學尺精度0.01um如同2.5D般量測工件高度或是表面三次元座標量測。
量程X/Y/Z為300/400/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為300/400/120mm，適合100KgW以下載重各種樣品量測需求，NH-5N量測機可改造符合樣品工件量測機種。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 適合量測工件：模具、大型工件如HUD、12吋大鏡片
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 量測軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案，成功案例HUD、汽缸壁粗度量測
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
||
| 量測距離 | 300mm | 400mm | 10mm | 120mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學系統 | 光學系統 | 無限遠聚焦光學 f = 180mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) |
||||
| 鼻輪 | 馬達控制 | ||||
| 自動對焦 | 重現性 | σ=0.03µm(鏡面(樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規格 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物台 | XY平台尺寸 | 400x480mm | |||
| 最大樣品高度 | 120mm | ||||
| 最大樣品重量 | 100kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 2100x1420x1720 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 1500kg | ||||
| 消費電力 | 1000W (100V 10A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學尺精度 (2+3L/100) um | ||||
HUD 抬頭顯示器
抬頭顯示器HUD，自由曲面鏡FREE FORM，鏡片尺寸比一般手機鏡片大許多，面形量測方式若使用接觸式方法，量測時間非常久，樣品表面容易刮傷，量測用的接觸針也非常容易磨損。使用影像非接觸式方式雖然快速，在樣品表面噴上銀粉後就能快速掃描3D面形，但是噴上銀粉後的樣品表面精度會改變，噴銀粉的技術成為面形量測變數之一，噴上銀粉後的樣品基本上是不能再回收使用，因為要將銀粉從樣品表面去除又是一道清潔工序，另外銀粉耗材也是考量之一。
三鷹光器公司提供了直接量測大面積透明曲面的解決方案，樣品數十公分的鏡面大小，也能輕易量測微米級的表面形貌差異變化。
HUD量測範例
快速面形比對，使用3D CAD比對方式是最佳選擇之一，三鷹光器雷射自動聚焦表面輪廓儀，掃描樣品表面輪廓，XYZ 3軸座標都是光學尺量測數據，量測精度有保障。3D CAD擬合比對方法設定公差上下限，從圖面上可判定量測誤差。
產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
NH-5Ns 適合量測模具等重型工件掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。
選購影像電控軟體與 x10，x20，x50，x100 四顆物鏡使用電控鼻輪切換，可執行工具顯微鏡尺寸自動量測圓徑，線寬，溝寬。AF軸光學尺精度0.01um如同2.5D般量測工件高度或是表面三次元座標量測。
量程X/Y/Z為300/400/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為300/400/120mm，適合100KgW以下載重各種樣品量測需求，NH-5N量測機可改造符合樣品工件量測機種。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 適合量測工件：模具、大型工件如HUD、12吋大鏡片
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 量測軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案，成功案例HUD、汽缸壁粗度量測
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
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| 量測距離 | 300mm | 400mm | 10mm | 120mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學系統 | 光學系統 | 無限遠聚焦光學 f = 180mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) |
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| 鼻輪 | 馬達控制 | ||||
| 自動對焦 | 重現性 | σ=0.03µm(鏡面(樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規格 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物台 | XY平台尺寸 | 400x480mm | |||
| 最大樣品高度 | 120mm | ||||
| 最大樣品重量 | 100kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 2100x1420x1720 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 1500kg | ||||
| 消費電力 | 1000W (100V 10A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學尺精度 (2+3L/100) um | ||||