超高精度三次元量測儀 NH-3SPs
廠牌 : 三鷹光器
日本三鷹光器公司生產非接觸式點雷射聚焦表面輪廓量測儀NH-3SP，多應用於超精密加工樣品測試，量測表面幾何輪廓，平面度、粗糙度、非球面、影像量測複合機，可應用於6吋以下樣品之全域面積掃描，及擴充自動化量測。
鏡片量測如非球面鏡與光學模仁，AR / VR 鏡片，Fresnel鏡片
產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），自動聚焦樣品表面做3d量測掃描，屬於非接觸式表面3d測量儀器，電控鼻輪最多可安裝5個不同倍率的物鏡，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可3d量測樣品微結構表面形貌。
NH-3SPs 適合量測光學元件及超精密加工製程樣品之掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。
NH-3SPs搭載微分干涉濾鏡，可觀察到Angstrom等級表面刮傷，高度量測可達到1nm光學尺保證精度，其他更高解析表面三次元量測儀器規格亦可客製化。
量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為150/150/120mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測需求，量測數據可導出XYZ座標方便模擬解析，量測機亦可改造。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。 MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 適合量測樣品：精密光學鏡片，Wave guide輪廓，光阻輪廓
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 數據重現性佳
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
||
| 量測距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 120mm | |
|---|---|---|---|---|---|
| 定位分辨率 | 0.01µm | 0.01µm | 0.001µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (0.5+2.5L/1000) µm | (0.5+2.5L/1000) µm | (0.1+0.3L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學系統 | 光學系統 | 無限遠聚焦光學 f = 180mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) |
||||
| 鼻輪 | 馬達控制 | ||||
| 自動對焦 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規格 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物台 | XY平台尺寸 | 284x240mm | |||
| 最大樣品高度 | 125mm | ||||
| 最大樣品重量 | 12kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 1550x920x1610 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 320kg | ||||
| 消費電力 | 700W (100V 7A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學尺精度 (1+2L/1200) um | ||||
高精度非球面量測
適配產品NH-3SP
三次元量測儀品牌有許多種，每家三次元量測儀用途也不完全相同，NH-3SPs 屬於高精度多功能研究開發型表面3D輪廓量測儀器，載台平面精度10/λ，XY軸光學尺定位精度0.01um，Z軸量測精度1nm光學尺保證精度。
量測應用
- 精密光學：模仁與鏡片 面形幾何輪廓、CAD比對、粗度量測、非球面評價
- 半導體：光阻輪廓、光波導輪廓、表面粗度量測
非球面量測
非球面鏡屬於對稱形，量測面形是否對稱，可以參考下圖先掃描X軸方向輪廓，再旋轉樣品90度並掃描樣品Y方向輪廓。
非球面數據擬合：非球面擬合軟體具備下述功能，初始輪廓，設計式擬合、最佳擬合。並可同時將X方向與Y方向數據疊合分析。
產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），自動聚焦樣品表面做3d量測掃描，屬於非接觸式表面3d測量儀器，電控鼻輪最多可安裝5個不同倍率的物鏡，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可3d量測樣品微結構表面形貌。
NH-3SPs 適合量測光學元件及超精密加工製程樣品之掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。
NH-3SPs搭載微分干涉濾鏡，可觀察到Angstrom等級表面刮傷，高度量測可達到1nm光學尺保證精度，其他更高解析表面三次元量測儀器規格亦可客製化。
量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為150/150/120mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測需求，量測數據可導出XYZ座標方便模擬解析，量測機亦可改造。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。 MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 適合量測樣品：精密光學鏡片，Wave guide輪廓，光阻輪廓
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 數據重現性佳
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
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| 量測距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 120mm | |
|---|---|---|---|---|---|
| 定位分辨率 | 0.01µm | 0.01µm | 0.001µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (0.5+2.5L/1000) µm | (0.5+2.5L/1000) µm | (0.1+0.3L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學系統 | 光學系統 | 無限遠聚焦光學 f = 180mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) |
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| 鼻輪 | 馬達控制 | ||||
| 自動對焦 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規格 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物台 | XY平台尺寸 | 284x240mm | |||
| 最大樣品高度 | 125mm | ||||
| 最大樣品重量 | 12kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 1550x920x1610 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 320kg | ||||
| 消費電力 | 700W (100V 7A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學尺精度 (1+2L/1200) um | ||||