MLP-3 全周輪廓量測儀

型號 : MLP-3

廠牌 : 三鷹光器

日本三鷹光器公司生產非接觸式點全周輪廓量測儀MLP-3,5軸電控量測樣品表面形貌,結合粗度計、輪廓計、真圓度計3機一體量測儀器,量測內徑外徑輪廓,應用於電子零件、精密沖壓件、齒輪、刀具、孔模孔形量測。

表面輪廓儀原理

採用點雷射自動聚焦方式(符合 ISO25178-605 Point Autofocus Probe 量測原理),雷射聚焦樣品表面掃描,當使用 x100 物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um,可量測微結構表面形貌。

產品說明

MLP-3 全周輪廓掃描式表面輪廓儀量軸 X/Y/Z/θ/AF 五軸都用光學尺解析且每一軸可單獨控制,對於精密小尺寸、非對稱形結構之外徑或內徑輪廓量測,有極大發揮空間,適合各種產業小樣品量測或內徑輪廓粗度量測需求。

MLP-3量測應用如螺絲與滾珠螺桿導程角量測,小模數齒輪齒形量測與評價,刀具刀R角輪廓粗度量測,鑽石伸線眼模的孔模斷面輪廓,近期元宇宙商機使用虛擬實境VR眼鏡中的扶涅爾鏡片Fresnel Lens,MLP-3也可精準將輪廓量出來。

表面輪廓儀特色

  • 適合量測材料:鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
  • 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
  • 適合量測工件:超精密加工模仁、超精刀、精密立銑刀、小模數齒輪、精密小端子零件、鋼珠鋼銶、滾珠螺桿、精密滑軌、精密模仁
  • 標準分析軟體:2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
  • 選購分析軟體:批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體

表面輪廓儀規格

MLP-3 全周輪廓量測儀
    X軸 Y軸 Z軸 AF(R)軸 AZ(θ)軸
量測距離   120mm 120mm 130mm 40mm 360度
定位分辨率   0.1µm 0.1µm 0.1µm 0.01µm 0.0002度
  光學尺 光學尺 脈衝 光學尺 光學尺
精度   (2+20L/1000) µm (2+20L/1000) µm (4+100L/1000) µm (2+20L/1000) µm ±0.02/360度
雷射探頭 物鏡 100X (WD=3.4mm) 彩色CCD相機
雷射功率 1mW Max λ : 635nm class 2
光斑大小 直徑1µm(搭配100X)
傾斜機構 EL軸(手動):0~90度
雷射光軸(手動):45~-90度
工作尺寸 圓柱 小於Ø80mm(額外:Ø 120mm)
最小直徑 Ø0.02mm
標準軟體   MitakaMapST+精密輪廓分析
  圖像擷取(MitakaViewer)
  量測軟體
電腦配備 系統 Win10
螢幕 最小19吋螢幕
電源   AC100V(5A)
配件   標準球1顆,工作支架1套,橡膠避震器,防塵罩
選配 硬體 (1)50x物鏡(WD=10.6或18mm)
(2)Z軸線性座標
(3)機動EL軸
(4)XY調整載台
(5)XY傾斜調整載台
軟體 (1)齒輪評價軟體
(2)刀刃形狀分析
(3)粗度量測/分析
(4)內徑量測
(5)3D CAD比較分析