MLP-3SP 高精度全周輪廓量測儀

型號 : MLP-3SP

廠牌 : 三鷹光器

日本三鷹光器公司生產非接觸式點全周輪廓量測儀MLP-3,5軸電控量測樣品表面形貌,結合粗度計、輪廓計、真圓度計3機一體量測儀器,量測內徑外徑輪廓,應用於光學超精密加工元件輪廓量測、BARREL、超精刀刃角輪廓與粗度量測。

產品說明

採用點雷射自動聚焦方式(符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理),雷射聚焦樣品表面掃描,當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um,可量測微結構表面形貌。

MLP-3SP 全周輪廓掃描式表面輪廓儀,量程X/Y/Z/θ/AF為120/120/130/360°/40mm五軸都用光學尺解析,樣品放置空間X/Y/Z為80/80/80mm,適合各種產業小樣品量測需求。

MLP-3SP具有1nm精度量測能力,多應用於光學器件等超精密加工量測使用。量測範例如:超精密模仁輪廓、超精刀R角輪廓粗度、鏡片Barrel真圓度及輪廓、孔模內徑輪廓,各種評價軟體對應

特色

  • 適合量測材料:鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
  • 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
  • 適合量測工件:精密光學零件如鏡片、鏡筒、模仁、單晶鑽石刀
  • 標準分析軟體:2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
  • 選購分析軟體:批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
  • 數據重現性佳

規格

MLP-3SP 高精度全周輪廓量測儀
    X軸 Y軸 Z軸 AF(R)軸 AZ(θ)軸
量測距離   120mm 120mm 130mm 40mm 360度
定位分辨率   0.01µm 0.01µm 0.01µm 0.001µm 0.0002度
  光學尺 光學尺 光學尺 光學尺 光學尺
精度   (2+20L/1000) µm (2+20L/1000) µm (2+20L/1000) µm (2+20L/1000) µm ±0.01/360度
雷射探頭 物鏡 100X (WD=3.4mm) 彩色CCD相機
雷射功率 1mW Max  λ : 635nm class 2
光斑大小 直徑1µm(搭配100X)
傾斜機構 EL軸(手動):0~90度
雷射光軸(手動):45~-90度
工作尺寸 圓柱 小於Ø80mm(額外:Ø 120mm)
最小直徑 Ø0.02mm
標準軟體 MitakaMapST+精密輪廓分析
圖像擷取(MitakaViewer)
量測軟體
標準硬體 Z軸線性座標
XY調整載台
XY傾斜調整載台
電腦配備 系統 Win10
螢幕 最小19吋螢幕
電源 AC100V(5A)
避震器 需要4kgf/cm2的壓力(軟管直徑為Ø6mm)
配件 標準球1顆,工作支架1套,橡膠避震器,防塵罩
選配 硬體 (1)50x物鏡(WD=10.6或18mm)
(2)機動EL軸
軟體 (1)齒輪評價軟體
(2)刀刃形狀分析
(3)粗度量測/分析
(4)內徑量測
(5)3D CAD比較分析