NH-4Ns 8吋樣品自動輪廓掃描量測儀

型號 : NH-4Ns
NH-4Ns 8吋樣品自動輪廓掃描量測儀
NH-4Ns 8吋樣品自動輪廓掃描量測儀

廠牌 : 三鷹光器

日本三鷹光器公司生產非接觸式點雷射聚焦表面輪廓量測儀NH-4Ns，除了輪廓量測功能外還可以量測影像尺寸量測，屬於表面幾何輪廓，平面度、粗糙度、非球面、影像量測複合機，可應用於8吋以下樣品之全域面積掃描，及擴充自動化量測。

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產品說明

採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。

NH-4Ns 適合8寸以下樣品掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。

量程X/Y/Z為250/200/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為250/200/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測需求。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測軟體達到自動化量測需求。

NH-4Ns選購影像分析軟體MitakaImager執行影像自動量測分析。影像自動量測功能如線寬自動量測，圓徑自動量測。影像自動分析功能如粒子分析，圖型自動辨識(Alingment Mark Matching)。

特色

  • 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
  • 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
  • 適合量測工件：HUD、Free Form Lens、Fresnel Lens、Micro Lens Array
  • 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
  • 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
  • 數據重現性佳
  • 量測軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案

規格

NH-4Ns 8吋樣品自動輪廓掃描量測儀
    X軸 Y軸 AF(Z1)軸
（量測用） 		Z2軸
（定位用）
量測距離   250mm 200mm 10mm 100mm
定位分辨率   0.1µm 0.1µm 0.01µm 0.1µm
尺   光學尺 光學尺 光學尺 脈衝
精度   (2+4L/1000) µm (2+4L/1000) µm (0.3+0.5L/10) µm (3+L/10) µm
顯微鏡光學系統 光學系統 無限遠聚焦光學 f = 100mm
雷射聚焦尺寸(Spot) Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、
Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、
Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、
Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm)
鼻輪 馬達控制
自動對焦 重現性 σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X
雷射規格 半導體雷射(O/P: 1mW Max  λ : 635nm class 2)
載物台 XY平台尺寸 364x244mm
最大樣品高度 105mm
最大樣品重量 12kg
其他 儀器尺寸 1660x970x1400 mm
避震器 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2）
儀器重量 250kg
消費電力 700W (100V 7A)
AF軸（選購） 15mm、20mm
Z2軸（選購） 光學尺精度 (2+3L/100) um
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