顯微鏡移動台

型號 : MSS
顯微鏡移動台
顯微鏡移動台
透過現有顯微鏡更換電控載物台，實現自動化量測。
各種規格載物台提供，相容國際顯微鏡大廠規格。
載物台薄輕，可用於顯微鏡，不會影響精確度。
載台面鋁板可拆卸更換成晶圓載台或可選玻璃板用於透射照明。
* 透過透射照明可觀察到的範圍比移動量窄。外觀圖上的通孔請參考表格。
搭配影像分析控制與分析軟體，執行缺陷檢查。
運動方向：XY軸2個方向
行程距離：參考型號尺寸表
所用馬達：PKP523N12A
解析度：0.002mm
進給螺桿規格：滾珠螺桿
絲槓導程1mm
移動導軌V型槽及交叉滾柱
運動精度：直線度0.010mm（水平）、0.015mm（垂直）
定位精度（1/10行程）X軸0.010mm，Y軸0.010mm
定位精度（全行程）：X軸0.030mm，Y軸0.030mm
重複精度：±0.002mm
空程0.003mm
承重能力：49N（5kgf）
最大速度：40mm/s（20,000pps 時）
主要材質/表面處理：鋁合金/黑色陽極氧化啞光
原點感測器：常閉觸點（斷開觸點、B觸點）、光感測器
限位感測器、常閉觸點（斷開觸點、B觸點）操作、光感測器
相容電纜：ACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
標準配件：鋁板、墊片
檢驗證書
內六角螺栓（用於安裝轉接器）M4 x 4，內六角螺栓（用於安裝墊片）M4 x 4
相容顯微鏡製造商尼康
相容顯微鏡：Eclipse LV150/LV150A
連接階段選擇
（參數編號4） 36
補充資訊：* 如果將控制器驅動器 QT-B 系列的連接級選擇（參數編號 4）設為 00（未使用連接設定），請設定控制器驅動器 DIP SW 和參數編號 1 至 3。
●限位開關：關閉對應DIP SW
●參數編號 1（原點感測器邏輯）：2（NC）
●參數編號 2（前原點感測器邏輯）：0（未使用）
● 參數 No.3（原點返回模式）：2（原點，Z 相）、3（原點）、4（限位，Z 相）或 5（限位）
*包括與顯微鏡相容的墊片。
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