Captomator 攝影用載台控制軟體
型號 : Captomator
廠牌 : Mitani
Captomator是日本Mitani公司開發的自動畫像拍攝軟體,可控制XY軸移動控制模組。
可搭配日本中央精機XY移動台與數位CCD照相機,並安裝在顯微鏡系統上執行程式影像擷取。
另外可搭配Winroof軟體做自動影像缺陷量測分析,達到自動化缺陷檢測與缺陷量測目的。
Captomator為一套控制電控XY軸移動台與CCD照相機用自動化像擷取控制系統,對於半導體晶圓自動化視覺檢查需求,搭配顯微鏡電控載與高解析度CCD照相機就能執行畫像取得作業自動化。
影像分析可依實際需求選購影像分析軟體或缺陷分析軟體,達到自動化學檢查。基本功能為控制電動Stage、指定區域多點連續攝影、自動攝影自動畫像解析系統。
Captomator應用在顯微鏡系統上必須使用電動Stage做控制,或使用照相機做自動攝影,以及搭配Z軸組合控制對各位置做全焦點畫像攝影。畫像解析軟體可搭配Winroof2015以上版本,實現邊攝影邊畫像解析。
移動載台操作採直覺式,移動到實際攝影位置後登錄座標並儲存以便後續批次量測使用,載台控制提供5種控制模式:矩形區域攝影、圓形區域、Pitch間隔、指定點、直線攝影。
特色
- 既定位置(多點)之畫像攝影自動化
- 已登錄位置到載台移動即時觀察(位置再現)
- 固定間隔排列複數點可依序用Stage移動並觀察
- 追加電動Z軸機構,有凹凸面的樣品可邊追蹤邊自動攝影
- 指定區域攝影與畫像解析同時進行建構出外觀檢查系統
規格
Captomator 攝影用載台控制軟體
系統構成 | Captomator 軟體 控制用PC 顯微鏡或其他觀察裝置 數位式攝影機 電動XY移動載台 Focus用Z軸電控套環 |
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下圖為顯微鏡改造成缺陷量測系統:
顯微鏡:使用客戶既有的廠牌
載物台、控制器、控制軟體則由mitani公司負責整合,PC使用筆記型電腦
下圖為Captomator軟體的畫像。
左邊方塊是缺陷形貌。
右邊上方為WaferMap圖,紅色代表缺陷。
右邊下方為量測數據資訊與載台控制盤。
Captomator 能提供缺陷畫像與WaferMap連棟功能,在waferMap點擊缺陷,電控載物台立刻移動到點擊缺陷位置並顯示缺陷相貌,方便判讀。
Captomator為一套控制電控XY軸移動台與CCD照相機用自動化像擷取控制系統,對於半導體晶圓自動化視覺檢查需求,搭配顯微鏡電控載與高解析度CCD照相機就能執行畫像取得作業自動化。
影像分析可依實際需求選購影像分析軟體或缺陷分析軟體,達到自動化學檢查。基本功能為控制電動Stage、指定區域多點連續攝影、自動攝影自動畫像解析系統。
Captomator應用在顯微鏡系統上必須使用電動Stage做控制,或使用照相機做自動攝影,以及搭配Z軸組合控制對各位置做全焦點畫像攝影。畫像解析軟體可搭配Winroof2015以上版本,實現邊攝影邊畫像解析。
移動載台操作採直覺式,移動到實際攝影位置後登錄座標並儲存以便後續批次量測使用,載台控制提供5種控制模式:矩形區域攝影、圓形區域、Pitch間隔、指定點、直線攝影。
特色
- 既定位置(多點)之畫像攝影自動化
- 已登錄位置到載台移動即時觀察(位置再現)
- 固定間隔排列複數點可依序用Stage移動並觀察
- 追加電動Z軸機構,有凹凸面的樣品可邊追蹤邊自動攝影
- 指定區域攝影與畫像解析同時進行建構出外觀檢查系統
規格
Captomator 攝影用載台控制軟體
系統構成 | Captomator 軟體 控制用PC 顯微鏡或其他觀察裝置 數位式攝影機 電動XY移動載台 Focus用Z軸電控套環 |
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