NH-3Ns 非接觸光學輪廓儀
廠牌 : 三鷹光器
日本三鷹光器公司生產非接觸式點雷射聚焦表面輪廓量測儀NH-3Ns，除了輪廓量測功能外還可以量測影像尺寸量測，屬於表面幾何輪廓，平面度、粗糙度、非球面、影像量測複合機，可應用於6吋以下樣品之全域面積掃描，及擴充自動化量測。
產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
NH-3Ns 適合6寸以下樣品掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。
量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測需求。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 輪廓量測：自動尋心、Alignment、參考平面修正、程式點矩陣高度座標量測
- 影像量測：圓徑、線寬、線距、粒子分析、Alignment Mark Pattern Matching
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 量測軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
||
| 量測距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 100mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學系統 | 光學系統 | 無限遠聚焦光學 f = 100mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) |
||||
| 鼻輪 | 馬達控制 | ||||
| 自動對焦 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規格 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物台 | XY平台尺寸 | 244x240mm | |||
| 最大樣品高度 | 105mm | ||||
| 最大樣品重量 | 12kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 1550x900x1400 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 210kg | ||||
| 消費電力 | 700W (100V 7A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學尺精度 (2+3L/100) um | ||||
光纖 VG & FAU 量測
使用光纖傳輸的優點是光傳輸的速度快且沒有熱損耗，從晶片wave guide設計到收發器LD PD，或是光纖連接器的製作精度極高。在此舉例光纖連接器FAU 與VG 三鷹光器的量測機是如何量測?
FAU光學影像量測法:
FAU是量測fiber core 圓徑中心點位置，上圖左將光纖FAU固定到治具台並在末端給與準值光源，從低倍率物鏡可以觀察到每個fiber core圓徑如上圖中所示，NH-3N 優異的自動聚焦系統AF可在透明fiber core表面聚焦，透過mitaka viewer軟體獲取fiber core 圓徑並計算圓心位置，接下來程式尋找下一個fiber core座標位置並自動聚焦計算圓心，上圖右顯示每個fiber core座標偏移量。
VG 雷射輪廓量測法:
VG雷射輪廓量測是使用AF功能搭配X軸移動記錄每個AF點位置的XZ軸座標，上圖左是掃描48 channel V groove樣品的輪廓，從輪廓圖上了解即便是透明玻璃，AF系統也能聚焦並長行程的描繪樣品表面輪廓。
上圖右是透過專用的自動分析軟體，找到每個V溝輪廓並帶入一個虛擬圓徑再計算此虛擬圓徑的圓心座標，最後再計算XZ軸的core pitch與累進差，計算數據可以轉成TXT檔方便統計應用。
光學量測
NH-3Ns 結合顯微鏡影像量測觀察與雷射表面自動聚焦功能，屬於多功能研究開發型表面3D輪廓量測儀器，顯微鏡電動鼻輪自動切換光學倍率，XY軸光學尺精度0.1um，Z軸量測精度10nm光學尺保證精度。
Mitaka Viewer是一套影像自動量測軟體，其功能類似於自動工具顯微鏡，XY移動軸搭載光學尺精準移動到被測目標執行圓徑，幅寬量測。AF軸光學尺精度0.01um，可量測到樣品高度，猶如一台2.5D量測機。XYZ 3軸若搭配光學尺，如同一台三次元座標量測儀CMM。是一台結合輪廓儀，粗度儀，工具顯微鏡，三次元座標量測儀的多功能應用機型。
ˇ
量測應用
- 精密光學：模仁與鏡片 面形幾何輪廓、CAD比對、粗度量測、非球面評價
- 半導體：光阻輪廓、光波導輪廓、表面粗度量測
產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
NH-3Ns 適合6寸以下樣品掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測位置，方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。
量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測需求。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
- 輪廓量測：自動尋心、Alignment、參考平面修正、程式點矩陣高度座標量測
- 影像量測：圓徑、線寬、線距、粒子分析、Alignment Mark Pattern Matching
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
- 量測軟體及控製硬體可依客戶需求提出解決方案
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
||
| 量測距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 100mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學系統 | 光學系統 | 無限遠聚焦光學 f = 100mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) |
||||
| 鼻輪 | 馬達控制 | ||||
| 自動對焦 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規格 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物台 | XY平台尺寸 | 244x240mm | |||
| 最大樣品高度 | 105mm | ||||
| 最大樣品重量 | 12kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 1550x900x1400 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 210kg | ||||
| 消費電力 | 700W (100V 7A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學尺精度 (2+3L/100) um | ||||