AI 輪廓量測儀
特徵點高精度辨識與輪廓量測
機械手臂自動定位取放樣品
AI人工智慧進行掃描目標特徵
特徵目標量測、分析數據、儲存結果
機械手臂樣品取出 OK / NG 分類
AI辨識優勢是對於特徵目標做精準判斷，搭配機械手臂或輸送裝置完成自動化量測；應用於生產線上用機械手臂抓取樣品做特徵點抽檢量測、或是承料盤內樣品自動矩陣量測。
量測機3軸都搭配高精度光學尺，XY軸光學尺解析0.1um，快速且精準移動載物台定位到目標樣品的量測位置並進行特徵點辨識掃描。當AI智慧輔助辨識到目標特徵後，程式自動計算與移動XY載台到量測位置並執行輪廓或粗度量測程式。
AI 自動量測儀器是依照客戶需求完成製作的客製化的機種，分成下述幾部分討論
1. 樣品搬送條件：採用輸送帶傳送，XY移動台傳送，機械手臂搬運樣品
2. AI 特徵辨識：特徵樣品需經過圖形訓練，辨識目標可行性評估
3. 量測方式討論：整合前述2項與量測方法，進行軟體設計與量測機硬體選擇
4. 量測結果回傳：數據儲存、樣品OK/NG歸位
首先設定好我們要辨識的樣品照片，經過AI軟體內部訓練後即可對樣品進行辨識。
下圖是AI辨識到圖形畫像照片，此時系統依照指令要求以"圖形輪廓中心點為量測目標"計算出影像中心點位置，依照影像中心座標數據計算補償並且移動載物台到補償點位置進行量測。因為載物使用高精度定位控制系統，XY軸也搭配高精度光學尺解析度0.1um，精準自動定位到量測位置。
下圖是掃描被測目標之斷面輪廓，分析軟體可以依顧客戶量測需求，將量測參數製作成樣版模組，爾後便可套用樣板做成自動化量測。
自動化量測可做表面粗度量測，輪廓量測(間距 Pitch、台階高 Step Height'、圓弧 Arc、夾角 Angle。。。)
AI辨識優勢是對於特徵目標做精準判斷，搭配機械手臂或輸送裝置完成自動化量測；應用於生產線上用機械手臂抓取樣品做特徵點抽檢量測、或是承料盤內樣品自動矩陣量測。
量測機3軸都搭配高精度光學尺，XY軸光學尺解析0.1um，快速且精準移動載物台定位到目標樣品的量測位置並進行特徵點辨識掃描。當AI智慧輔助辨識到目標特徵後，程式自動計算與移動XY載台到量測位置並執行輪廓或粗度量測程式。
AI 自動量測儀器是依照客戶需求完成製作的客製化的機種，分成下述幾部分討論
1. 樣品搬送條件：採用輸送帶傳送，XY移動台傳送，機械手臂搬運樣品
2. AI 特徵辨識：特徵樣品需經過圖形訓練，辨識目標可行性評估
3. 量測方式討論：整合前述2項與量測方法，進行軟體設計與量測機硬體選擇
4. 量測結果回傳：數據儲存、樣品OK/NG歸位