表面輪廓與粗糙度量測儀
廠牌 : 三鷹光器
型號：PF-60
功能：2D/3D大範圍長行程掃描樣品表面形貌，快速掃描高精度量測。
參數：表面幾何輪廓量測(斷差、間距、角度、弧度)，
輪廓分析(Pa、Pt、Pq...)與表面粗度解析(Ra、Rz、Rq...)，
3D平面度掃描量測(FlTt、FLTq...)與面粗度解析(Sa、Sz、Sq)。
優勢：擴充1nm光學尺解析，巨集程式自動量測，非球面評價、CAD擬合、機械手臂上下料件。
適合用於小樣品的表面幾何輪廓，平面度與粗糙度量測，XY軸平台掃描範圍60x60mm, 可應用於2吋以下樣品之全域面積掃描。
產品說明
PF-60 表面輪廓與粗糙度量測儀，採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），點雷射自動聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
PF-60 非接觸式表面粗糙度量測儀是利用載物台的移動與點自動聚焦光學系統 (AF光學系統) 對樣品表面進 2D 或 3D 掃描量測，樣品掃描量測範圍 X 軸 60mm、Y 軸 60mm、AF軸 10mm，適合晶片、模仁、鏡片、電路板等需要做大範圍掃描。
樣品掃描XYAF 三軸都有高精度光學尺檢測，對樣品掃描獲得XYZ 空間座標數據，光學尺取樣密度XY0.1um/AF0.01um，適合量測微小尺寸樣品表面輪廓、粗糙度量測、平面度量測，可滿足三次元量測儀器之取樣密度不足困擾，樣品放置空間 X/Y/Z 為 200/200/60mm，適合各種產業小樣品量測需求。
對於小尺寸陣列樣品量測，例如微鏡片陣列(Micro Lens Array), 或基板線寬高度(Pattern Step Height)…等，可加購MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
-
特色
- 量測解析功能：幾何輪廓(圓弧、角度、距離、階差...)、表面粗糙度(輪廓度、波紋度、粗糙度)、平面度(真直度)
- 適合量測材料：鑽石、透明鏡片、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 輪廓粗度評價：一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據。
- 適合量測工件：PCB、Wafer、Lens、刀具、螺桿、軸承、螺牙…等，需量測表面粗度或微結構輪廓。
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析。
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體。
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
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| 量測距離 | 60mm | 60mm | 10mm | 60mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學自動對焦系統 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範圍 | Ø 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢幕） |
||||
| 定位用物鏡 | 5X滑動機構[視野範圍] | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 其他 | XY平台尺寸 | 210x210mm | |||
| 最大樣品尺寸 | 70mm（含自動對焦單元的高度 100 mm） | ||||
| 最大樣品重量 | 4kg | ||||
| 儀器尺寸 | 400x400x450mm | ||||
| 避震器 | 3點支撐墊（振盪 橫向：3.5 垂直：4Hz） | ||||
| 儀器重量 | 31kg | ||||
科勒照明是提供由聚焦和定心的光路和在視場中均勻地分散其最佳的對比度和分辨率的方法
微細刮痕輪廓
附件為V溝樣品，從顯微鏡可看到一條微細刮痕，但看得到未必量的出來。
三鷹光器的自動聚焦技術，高精度光學尺解析度0.001um進行3D掃描，實踐看得到也量得出來。
下圖是刀具對模具做平面車削，透過低倍率顯微鏡做連續畫像拼圖的照片，從畫像上可看到雖然模具表面是平的，但顯微鏡還是可觀察到刀痕，也就是刀刃表面紋理轉寫到模具現象。
將模具表面紋理放在PF-60量測機執行長行程的掃描，掃瞄範圍X軸3mm、Y軸1mm，刮痕平面高度差0.001mm。
三鷹光器PF-60表面輪廓與粗糙度量測儀使用雷射點自動聚焦量測法，非接觸式沒有探針耗材與刮傷樣品風險，能快速且精準定位樣品做表面粗糙度量測，對於梯形或錐形斜邊輪廓與粗糙度量測，PF-60只要量測一次就能同時分析幾何輪廓與表面粗糙度，對於超精密加工的樣品或次微米精度要求的量測需求，PF-60是CP值最高的選擇。
高曲度輪廓分析
紙鈔油墨輪廓掃描，PF-60 表面輪廓粗度量測儀的AF高精度掃描樣品輪廓，搭配強大分析軟體，可分析出表面真實形貌。
透過MitakaMap分析軟體去除表面輪廓，原始掃描樣品表面形貌輪廓高度1700um，經由濾波器設定再分析移除輪廓，使得浮水印字型油墨高度數十um形貌完整呈現。
晶片表面平整度量測
沖棒輪廓量測
PF-60 除了量測平面樣品，對於輪廓角度量測也有優異表現，例如冲棒輪廓角度84度也可輕易量測。
車刀片刀刃輪廓量測
搭配治具與巨集量測軟體，實現自動化量測需求。
廠內若需要搭配機械手臂執行Load、Unload上下試料需求，可協助做自動化整合服務。
自動化量測應用
批次陣列連續量測
機械手臂自動量測應用
我們有豐富量測應用，若您有其他特殊量測需求，歡迎來電討論。
產品說明
PF-60 表面輪廓與粗糙度量測儀，採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），點雷射自動聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
PF-60 非接觸式表面粗糙度量測儀是利用載物台的移動與點自動聚焦光學系統 (AF光學系統) 對樣品表面進 2D 或 3D 掃描量測，樣品掃描量測範圍 X 軸 60mm、Y 軸 60mm、AF軸 10mm，適合晶片、模仁、鏡片、電路板等需要做大範圍掃描。
樣品掃描XYAF 三軸都有高精度光學尺檢測，對樣品掃描獲得XYZ 空間座標數據，光學尺取樣密度XY0.1um/AF0.01um，適合量測微小尺寸樣品表面輪廓、粗糙度量測、平面度量測，可滿足三次元量測儀器之取樣密度不足困擾，樣品放置空間 X/Y/Z 為 200/200/60mm，適合各種產業小樣品量測需求。
對於小尺寸陣列樣品量測，例如微鏡片陣列(Micro Lens Array), 或基板線寬高度(Pattern Step Height)…等，可加購MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
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特色
- 量測解析功能：幾何輪廓(圓弧、角度、距離、階差...)、表面粗糙度(輪廓度、波紋度、粗糙度)、平面度(真直度)
- 適合量測材料：鑽石、透明鏡片、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 輪廓粗度評價：一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據。
- 適合量測工件：PCB、Wafer、Lens、刀具、螺桿、軸承、螺牙…等，需量測表面粗度或微結構輪廓。
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析。
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體。
規格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） |
Z2軸 （定位用） |
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| 量測距離 | 60mm | 60mm | 10mm | 60mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學自動對焦系統 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範圍 | Ø 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢幕） |
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| 定位用物鏡 | 5X滑動機構[視野範圍] | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 其他 | XY平台尺寸 | 210x210mm | |||
| 最大樣品尺寸 | 70mm（含自動對焦單元的高度 100 mm） | ||||
| 最大樣品重量 | 4kg | ||||
| 儀器尺寸 | 400x400x450mm | ||||
| 避震器 | 3點支撐墊（振盪 橫向：3.5 垂直：4Hz） | ||||
| 儀器重量 | 31kg | ||||
科勒照明是提供由聚焦和定心的光路和在視場中均勻地分散其最佳的對比度和分辨率的方法