光學非球面NH-3SPs

型號 : NH-3SPs

廠牌 : 三鷹光器

日本三鷹光器公司生產非接觸式點雷射聚焦表面輪廓量測儀NH-3SP,多應用於超精密加工樣品測試,量測表面幾何輪廓,平面度、粗糙度、非球面、影像量測複合機,可應用於6吋以下樣品之全域面積掃描,及擴充自動化量測。

產品說明

採用點雷射自動聚焦方式(符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理),雷射聚焦樣品表面掃描,當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um,可量測微結構表面形貌。

NH-3SPs 適合量測光學元件及超精密加工製程樣品之掃描式表面輪廓儀,多種倍率量測物鏡選擇及電動鼻輪切換倍率,可拍照記錄量測位置,方便觀察並標示出量測位置是否有缺陷。

NH-3SPs搭載微分干涉濾鏡,可觀察到Angstrom等級表面刮傷,高度量測可達到1nm光學尺保證精度。

量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學尺解析,樣品放置空間X/Y/Z為150/150/120mm,適合12KgW以下載重各種樣品量測需求,量測機可改造。獨特AF功能可偵測樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。 MACRO量測軟體達到自動化量測需求。

特色

  • 適合量測材料:鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
  • 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
  • 適合量測樣品:精密光學鏡片,Wave guide輪廓,光阻輪廓
  • 標準分析軟體:2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
  • 選購分析軟體:批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體
  • 數據重現性佳

規格

光學非球面NH-3SPs
    X軸 Y軸 AF(Z1)軸
(量測用)
Z2軸
(定位用)
量測距離   150mm 150mm 10mm 120mm
定位分辨率   0.01µm 0.01µm 0.001µm 0.1µm
  光學尺 光學尺 光學尺 脈衝
精度   (0.5+2.5L/1000) µm (0.5+2.5L/1000) µm (0.1+0.3L/10) µm (3+L/10) µm
顯微鏡光學系統 光學系統 無限遠聚焦光學 f = 180mm
雷射聚焦尺寸(Spot) Ø 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、
Ø 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、
Ø 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、
Ø 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm)
鼻輪 馬達控制
自動對焦 重現性 σ=0.03µm(鏡面(樣品)表面) 使用100X
雷射規格 半導體雷射(O/P: 1mW Max  λ : 635nm class 2)
載物台 XY平台尺寸 284x240mm
最大樣品高度 125mm
最大樣品重量 12kg
其他 儀器尺寸 1550x920x1610 mm
避震器 氣浮式(空氣壓力:5kgf/cm2
儀器重量 320kg
消費電力 700W (100V 7A)
AF軸(選購) 15mm、20mm
Z2軸(選購) 光學尺精度 (1+2L/1200) um