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基本規格
載台尺寸：11.8 x 24.8 mm
夾緊方式：無夾緊
進給方式：進給絲桿 P 5mm
移動行程：3mm (-1.5mm ~ +1.5mm)
載重：0.5kg
精密電控載物台
載台移動行程50mm x 50mm ~ 300mm x 300mm (2吋晶圓 ~12吋晶圓)
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