齒輪形貌粗度量測儀

非接觸式齒輪輪廓及粗度量測
唯一可量測齒輪模數小於0.5之非接觸式量測儀
內齒輪量測, 正齒輪量測
最小雷射光點 1um(obj.x100 NA0.95)
長行程工作範圍 (客製化可)
XYZ 載台120x90x130 mm
AF(R):40mm    
AZ迴傳軸:360゜
XYZ 解析: 0.1x0.1x0.1um  
AF(R)解析:0.01um
AZ解析 : 0.0002゜